SFV系列真空型主動減振器垂向以空氣彈簧并聯(lián)磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)作為主支撐，水平方向以機(jī)械式倒立擺負(fù)剛度機(jī)構(gòu)與正剛度機(jī)構(gòu)并聯(lián)，配合垂向和水平向的主動振動控制及精密定位控制，實(shí)現(xiàn)6自由度高性能主動減振和穩(wěn)姿。該系列可用于真空環(huán)境。

SFV180A